无尘精密烤箱的特性

无尘精密烤箱是一种专为高精度、高洁净度需求设计的工业设备，其核心特性如下：

1.洁净度控制

采用HEPA/ULPA高效过滤系统，可达到ISO Class 5（百级）或更高洁净标准

内腔采用316L不锈钢一体成型，避免颗粒脱落

正压设计防止外部污染物侵入

2.温度精准性

控温精度可达±0.1℃（视型号而定）

多区独立温控技术（常见3-8温区）

升温速率可调范围通常为1-10℃/min

3.特殊结构设计

双层密封门结构（气密+磁吸）

无风扇对流系统（避免涡流污染）

所有接缝处采用激光焊接工艺

4.智能控制系统

标配配方存储功能（≥50组工艺参数）

实时记录温度曲线（采样间隔≤1s）

支持远程监控（MODBUS/以太网接口）

5.安全防护

三重过热保护（电子/机械/软件）

漏电保护（≤0.1mA灵敏度）

惰性气体 purge 接口（选配）

典型应用领域：

半导体封装（BGA/CSP）

医疗器材灭菌

精密光学元件处理

航天级复合材料固化

维护要求：

建议每500小时更换过滤器

每月进行粒子计数器检测

年度校准温度传感器（需第三方认证）

注意：具体参数需根据厂商规格书确认，不同行业应用可能需符合特定标准（如SEMI F72、IEC 61010等）。