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充氮隧道炉通过充入氮气降低炉内氧气浓度,防止产品氧化,同时采用隧道式连续生产方式提高效率。其工作原理如下:
核心原理
充氮隧道炉内部设置氮气充填系统,通过管道向炉内持续充入氮气,将氧气浓度控制在设定范围(如电子芯片制造需0-10ppm,锂电池生产需0-100ppm),从而避免产品在高温处理时发生氧化反应。
结构与功能
密封炉体:采用全密封设计,配合氮气循环系统维持无氧环境。
加热系统:常见电加热或燃气加热方式,通过热风循环确保温度均匀分布。
输送系统:输送带、链板等结构实现产品连续输送,缩短生产周期。
适用场景
广泛应用于半导体封装、锂电池电极烧结、新材料加工等领域,通过控制氧气浓度保障产品性能稳定性。


